システム |
製品名 |
説明 |
生産計画 |
製造能力シミュレータ
FineSolution-MRS |
事業計画の生産目標を検証します。工場の製造能力で生産目標を達成できるか、設備増強か、設備計画停止か、外注手配かなど無駄のない事業計画立案にお役に立ちます。 |
生産計画 |
生産スケジューラ
FineSolution-APS |
目標設定させた生産計画を遵守するよう日々作業計画を立案します。日々変動する工場状況を反映し最適な作業計画立て、スムーズな物の流れで作業効率を向上させます。 |
工程管理 |
製品・装置の履歴管理
FineSolution-MES |
製品ロットの所在、工程の作業順、設備の状態など、物の流れ、所在を見える化します。製品トレーサビリティに対する情報提供にもお役に立ちます。 |
品質管理 |
製品・装置の異常監視
FineSolution-SPC |
設備異常傾向の早期発見、処置の記録、工程能力の監視・改善などの統計的工程管理を行います。ISO規格に沿った品質管理業務の効率化にお役に立ちます。 |
品質管理 |
不良分布、ゴミ、欠陥の解析
FineSolution-QCM |
ウエハ面内の異常パターン分析を行い、異常原因の究明業務を効率よく行えます。パーティクル、異物と面内不良の関連性、ウエハ毎の異常傾向指標からのチャンバ要因性などの機能で解析業務支援します。 |
品質管理 |
汎用データ検索・解析
FineSolution-MDR |
さまざまな品質データを取り出し、不良要因を発見する業務の効率化を図ります。グラフ一覧による傾向分析、異常値の除外、異常分離パラメータ抽出などの機能で解析業務を支援します。 |
品質保証 |
トレーサビリティによる品質保証
FineSolution-QAS |
工場内外の物流をトレースし、物の所在、流通先、クレーム製品の影響範囲を把握できます。 |