1.FineSolution-MESの機能概要
	FineSolution-MESは、FineSolution-APSからの作業指示に基づき、処理順位を示します。
	対象工程の対象装置が故障等で、指示通り処理できない場合は、工程内ディスパッチングにより、処理順序の再計算を実施します。
	対象ロットのレシピを確認し、装置オンラインツール を介して、レシピのダウンロードを実施できます。 ロットのムーブ・イン、ムーブ・アウトの管理、ロットの統合・分割、スクラップ処理、品質レベルによる工程指示（再生処理等）等ができます。
	設備の稼動管理のための、装置状態を入力することもできます。
	FineSolution-MESはロット、ウエハ、チップ、モジュール単位の工程管理が可能で、全工程を一元管理できます。

2.FineSolution-MESの特長

●プロセス工程（ロット、ウエハ）、アセンブリ工程（ウエハ､チップ）、モジュール工程（チップ）が一元管理できるため、工程間（工場間）サプライチェーンが可能になり、工程間の仕掛在庫が低減できます。

●装置オンラインツールと組み合わせることで、オンライン化にもオフライン化にも対応可能です。工程状況にあったシステム化が可能です。

●ディスパッチ機能により、工程内で最適な処理順位を決定できます。そのため、工程間の仕掛りバランスを最適化します。

●作業指示書、日報等が不要になるため、工程内のペーパレス化が図れます。

●品質レベル（ランク）に応じた作業フローが定義できるため、作業ミスが低減できます。

3.FineSolution-MESの基本業務フロー

4.FineSolution-MESユーザ・インターフェース例
	検査工程の作業指示 チップ単位の初期特性検査の作業指示画面です。 ロット進捗表示 各工程での進捗状況を表示します。 ロットNo．、ウェハNo．、チップNo．、シリアルNo．等の各工区で扱われる単位での表示が可能です。