1.FineSolution-QCMの機能概要

QCM手法とは、工程全体にわたる不良発生の連鎖的要因の分析とその結果に基づく対策を連鎖的に行うことでプロセスの安定化を図る管理手法で、FineSolution-QCMはこの手法に基づきシステム化したものです。このシステムは、大きく３つの部分からなります。

2.FineSolution-QCMの特長

●監視・ワーニング部 　測定データ、収集データを各成分毎、分布度、バラツキ度といった数十種類から百数十種類に分類し、その分類毎に決められたアルゴリズムに従い数値化を図ります。分類毎に管理値を設定し、十数種の管理帳票で異常の有無が確認できます。従来、一意的にしか管理していなかったデータを多面的に管理することでプロセス異常（異常傾向）を確実に把握することができます。 さらに、これらの一連の処理は自動的に行われるため、出力される管理帳票を確認するだけで、プロセスの状態を把握することができます。

●確認・解析部 　各管理帳票の異常表示項目に対して、グラフ解析、マップ解析、欠陥解析等を行ない異常の確認を行ないます。従来はここまでの解析が一般的で、この結果から各解析担当者がその要因を特定（類推）していました。そのため、担当者によって解析精度、期間等にバラツキがありました。 本システムでは、従来のこのような解析は、あくまでも管理帳票の異常の確認として使われ、確認された異常項目に対してFEA解析が実施されます。FEA解析は要因特定解析とも呼ばれ、解析結果として、そのような異常に対して影響度の強い順に要因（装置）リストを表示することができます。

●特定・設定部 　解析結果として出力される要因（装置）リストから、上位数項目（数装置）と装置データ（処理レシピ）との相関解析が行われ、どのような対策が必要かを結果として出すことができます。 現象と要因の関連付けも可能で、新たな管理項目の追加も容易にできます。 このQCM手法に基づき半日から2日程度のサイクルでプロセスを監視・管理することで、多品種少量や少品種多量に関わらずプロセスの安定化が図れます。

2.FineSolution-QCMのユーザ・インターフェース例

管理帳票

測定データ、収集データを管理項目毎に集計し、全てのデータを多面的に監視します。

確認・解析・特定

マップ解析、欠陥解析等により管理帳票内の異常を確認します。確認後、要因特定解析（FEA解析）で影響度の強い順に要因（装置）リストを出力し、相関解析で特定を行います。